薄膜沉积监控系统相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

薄膜沉积监控系统相关论文

原子层沉积技术及其监控系统的研究

近年来,随着半导体技术的高速发展,器件的特征尺寸在不断减小,以致对半导体中的栅极介质、电容器介质、阻挡层等薄膜的要求越来越......

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