蝠翼效应相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

蝠翼效应相关论文

基于白光干涉法的表面形貌评价和误差补偿

超精密加工技术在不断朝着加工方法多样化、加工材料广泛化、加工结构复杂化、加工精度精细化发展的同时,对表面轮廓形貌的准确表......

学位

超精密加工白光干涉仪蝠翼效应表面粗糙度误差修正

白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析

为探索白光干涉仪在测量矩形台阶时的蝠翼效应误差,建立白光干涉虚拟测量模型.在模型中,考虑白光光源带宽和干涉物镜数值孔径以及......

期刊

白光干涉仪蝠翼效应衍射光学光栅

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