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微机械G开关的研制
设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触......
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G开关
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螺旋粱
G-switch
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