蠕动爬行微电机械相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

蠕动爬行微电机械相关论文

蠕动爬行微电机械力－电耦合的致动特性分析

对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构,在柔韧薄板理论和电学物理基础上,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和......

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蠕动爬行微电机械力-电耦合致动特性微电子加工变形特征 Bending (deformation)Electric fieldsMethod of mom

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