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传统三维光刻矢量成像模型中将投影系统物方电磁场表示为二维形式，实现方式分为两种：采用局部坐标和忽略掩模衍射频谱的轴向分量。后......
本文从Fibonacci入手来探讨一下简单的准周期光栅和多层膜在光学方面的特性，并比较其与周期性结构的异同点。全文主要探讨了以下两......
对于傍轴光束 ,提出了介质平面波导衍射场的近场模场半宽度、远场发散角半宽度和光束传输因子M2 等光束参量之间满足简单的关系式 ......
本文设计了一种一维准周期衍射光栅，理论计算结果表明该光栅的衍射频谱具有自相似性。文中还研究了不同相位子强度对结构因子的影响......
根据傅立叶光学理论从光栅的衍射频谱中可以反推光栅本身的多种信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光栅的傅立叶变换,推导出零级和......
