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角度分辨斜向背散射拉曼测量系统相关论文
单晶硅{100}晶面族面内应力的拉曼实验方法、设备与验证
近年来,随着以硅基半导体材料体系为核心的微电子技术、MEMS技术的迅猛发展,应变工程在微纳米光电科学工程领域得到了广泛应用。采......
学位
显微拉曼光谱
拉曼力学测量模型
角度分辨斜向背散射拉曼测量系统
应力分量解耦分析
原位
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