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低周期非线性误差外差光栅干涉测量技术研究
超精密激光测量技术是尖端微电子制造装备不可或缺的核心基础技术,对先进制造和高端装备具有重要的支撑作用。与激光干涉测量技术......
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外差光栅干涉
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基于SolidWorks的四镜环形腔容差简易分析方法
针对环形激光谐振腔的光路变动的问题,基于SolidWorks建立了一个两平面镜和两凹面镜构成的四镜8字形稳定环形激光谐振腔模型。使用......
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