超级化学镀相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

超级化学镀相关论文

化学镀技术在超大规模集成电路互连线制造过程的应用

本文结合作者多年研究成果,总结自"大马士革铜工艺"提出以来,电化学工作者利用化学镀技术围绕该工艺而开展的一系列相关研究,介绍......

期刊

化学镀铜超级化学镀大马士革铜互连线种子层防扩散层

超级化学镀微道沟填充的研究

目前超大规模集成电路铜互连线工艺采用大马士革工艺,即先通过物理气相沉积(PVD)法形成防扩散层(如TaN、TiN、WN等)和铜种子层,利......

学位

超级化学镀微孔填充线性伏安扫描混合电位理论协同抑制作用

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