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超薄有源层相关论文
低能全元素离子注入机
本文介绍了一台低能全元素离子注入机。它的能量范围为5~60keV;离子品种是从~1H到~(209)Bi;最低能量5keV的As~+、Se~+等重离子的靶......
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离子注入机
超薄有源层
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