基于严格的矢量耦合波方法，结合纳米级光栅实际制作工艺，定量分析了在13．4nm软X射线（TE偏振）正入射条件下，光栅材料、厚度、占空比、梯形......

基于严格的矢量耦合波方法，对13．4nm（92．5eV）软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算，结果表明SiO2光......