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氮氧化锌基高迁移率薄膜制备及其TFT原型器件研制
ZnON薄膜具有电子有效质量小、迁移率高等优点,并且通过抬高价带屏蔽氧空位,从而避免了常用氧化物中存在的持续光电导现象,因此以ZnON......
学位
TFT原型器件
高迁移率薄膜
氮氧化锌
老化机制
退火优化
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