通孔形状相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

通孔形状相关论文

高深宽比硅通孔检测技术研究

由于SEM显微镜、FIB显微镜检测高深宽比硅通孔耗时、费用高，研究了垂直扫描白光干涉技术检测硅通孔的可行性。设定刻蚀/钝化时间比......

期刊

深硅刻蚀白光干涉侧壁粗糙度通孔形状通孔深度无损检测 DRIEwhite light interferencevia sidewall roughnes

看过本文同时还关注