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金属有机物化学沉积相关论文
MOCVD生长InGaN/AlGaN双异质结构与GaN过渡层的工艺与特性
评述利用MOCVD技术在α-Al2O3衬底上生长GaN薄膜及InGaN/A1GaN双异质结(DH)结构的工艺与特性;从表面动力学观点着重讨论了GaN过渡层M......
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