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钛氮复合处理相关论文
渗氮-气相沉积TiN复合处理膜基间"黑色层"形成机理分析
通过对渗氮层相结构的稳定性与气相沉积工艺特性的分析,从热力学和动力学两方面分析了“黑色层”的形成机理。研究认为“黑色层”系......
会议
渗氮
气相沉积
钛氮复合处理
&
quot
黑色层&
quot
金属表面保护
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