钢基Si02薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

钢基Si02薄膜相关论文

Ar／O2比和基片温度对射频反应磁控溅射法制备钢基Si02薄膜亲水性的影响

在工作气压为1．9Pa的氩氧气混合气氛中，改变氩氧的流量比和基片温度，采用射频反应磁控溅射法在不锈钢基片上制备了二氧化硅薄膜试样，并......

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钢基Si02薄膜亲水性射频反应磁控溅射氩氧分压比基片温度 SiO2 thin films based steel hydrophilic propert

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