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RF—PECVD法在钢衬底上沉积氮化硅薄膜的研究
采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在钢衬底上沉积氮化硅薄膜。用台阶仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(S......
期刊
氮化硅薄膜
钢衬底
RF-PECVD
沉积速率
silicon nitride film steel substrate RF-PECVD deposition
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