钨青铜型压电陶瓷驱动器相关硕士博士期刊学术论文

纳米级定位控制系统中驱动元件的选择和使用直接影响着控制系统的最终性能指标。压电陶瓷驱动器以其体积小，重量轻，精度和位移分辨率......