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利用从金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流Ta离子,进行了Ta离子注入铝的研究.研究结果表明,在离子注入剂量为5×1017cm-2,平均......
熔盐电镀钽层具有高熔点、耐烧蚀等高温热学力学性能。为探究钽在电镀过程的反应机理,实验在1073 K以32.52%(质量分数)NaF-67.48%(......