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铜薄膜制备相关论文
等离子体增强原子层沉积技术在铜薄膜制备中的应用
集成电路高素质为铜互联提出很多要求,如何低温下在沟槽中沉积保形性好、导电性好的铜籽晶层是急需解决的问题.本文利用等离子增强......
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等离子体
增强原子层沉积
铜薄膜制备
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