铬硅氮薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本文应用闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀方法制备Cr-Si-N薄膜,通过调节Si靶电流改变薄膜中的Si含量.用辉光放电光谱仪(GDOES)分析了......