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基于湿法表面活化处理的InP/SOI晶片键合技术
为了实现集成硅基光源, 研究了基于湿法表面处理的InP/SOI直接键合技术。采用稀释的HF溶液对InP晶片进行表面活化处理, 同时采用Pi......
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晶片键合
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