使用对向靶溅射系统制备ＣＮ膜。研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ之间的键态。膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２分压增大而增大，Ｎ与Ｃ的键合优先形成Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ，Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大。......

使用对向靶系统在Ｓｉ（１００）基片上于不同Ｎ２分压下制备ＣＮ膜样品。Ｘ射线衍射表明样品为非晶结构。用Ｘ射线光电子谱测量膜中Ｎ的含量，结果表明膜中／Ｃ随Ｎ２分压......

轻元素共价键硼碳氮（ＢＣＮ）化合物随组分和原子环境的变化，表现了由半金属到宽湿润地导体之间可调的物理性质，利用偏压辅助的热丝化学气相沉......