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利用硅各向异性腐蚀制作各种微光学结构
利用[100]晶向硅在KOH:H2O中经过两步各向异性腐蚀制作各种微光学结构。此方法的关键步骤是掩膜版图的设计。研究中通过计算机编程......
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硅各向异性腐蚀
微光学结构
掩膜版
高效设计
阵列凹透镜
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