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阵列式MEMS矢量水听器相关论文
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针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏......
期刊
阵列式MEMS矢量水听器
可靠性
灵敏度
指向性
array MEMS vector hydrophone
reliability
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