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阶梯埋氧相关论文
薄硅层阶梯埋氧PSOI高压器件新结构
基于介质电场增强ENDIF理论,提出了一种薄硅层阶梯埋氧型部分SOI(SBPSOI)高压器件结构。埋氧层阶梯处所引入的电荷不仅增强了埋层介......
期刊
薄硅层
介质场增强
阶梯埋氧
耐压
调制
自热效应
thin silicon layer
ENDIF
self-heating effect step
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