静态腐蚀速率相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

静态腐蚀速率相关论文

集成电路铜互连线的静态腐蚀速率研究

利用静态腐蚀法分别研究了络合剂甘氨酸、氧化剂双氧水、阴离子表面活性剂十二烷基硫酸铵(ADS)、腐蚀抑制剂吡唑在碱性条件下对铜......

期刊

互连线铜抛光液抑制剂静态腐蚀速率

不同体积分数螯合剂对Cu-BTA去除的影响

化学机械抛光(CMP)过程中苯并三氮唑(BTA)与金属铜反应生成表面难溶、难以去除的Cu-BTA钝化膜,是抛光后清洗过程中主要去除的对象......

期刊

螯合剂清洗剂 Cu-BTA聚合物接触角静态腐蚀速率粗糙度

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