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高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究
为了提高镍基高温合金基底的高温电绝缘性能,改善航空发动机工作过程中温度传感器的可靠性问题,采用直流反应溅射的方法溅射非晶Al......
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复合绝缘层
反应溅射
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