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非晶氧化碳薄膜相关论文
非晶SiO_X薄膜的制备及光学特性的研究
采用双离子束共溅射方法制备了SiOX薄膜,XRD和TEM的分析表明SiOX薄膜为非晶结构,XPS分析表明样品主要是以SiO190的形式存在于薄膜......
期刊
非晶氧化碳薄膜
光学特性
半导体工艺
SiOX film
optical absorption
photoluminescence(PL)
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