非晶氮化碳薄膜相关论文
氮化碳薄膜(Carbon nitride films)是以理论预言为基础、自然界尚未发现的人工合成材料之一.由于其具有很多优异的性能而备受材料......
本文研究了乙醇浓度和摩擦条件时α-CNx薄膜在乙醇-水溶液中的摩擦学特性的影响。研究结果表明:在体积浓度为20%的乙醇-水溶液中,α-C......
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本论文综述了氮化碳薄膜和PECVD法制备非晶氮化碳薄膜的研究进展。利用双发射源RF-DC—PECVD技术,实现了等离子体密度和能量的单独......