面外运动相关论文
很多MEMS器件中都要用到电热微驱动器,电热微驱动的工作原理通常是:利用电阻发热使温度升高随后产生热膨胀,产生的输出力和输出位......
提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍......
由于面内波的尺度通常大于面外波的尺度，目前板结构基于有限元的能量流分析忽略面内运动，这种处理方法在一些情况下并不合理。本文根......
