预通三甲基铝(TMAl) 相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

预通三甲基铝(TMAl)相关论文

预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响

采用有机金属化学气相沉积设备用两步生长法在（0001）蓝宝石衬底上制备AlN薄膜。研究了预通三甲基铝（TMAl）使衬底铝化对外延AlN的影响。......

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金属有机物气相沉积 ALN 预通三甲基铝(TMAl) 应力 metalorganic chemical vapor deposition AlN TMAl pr

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