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高场退火相关论文
MOS结构中薄栅氧化层高场退火效应的研究
深入研究了MOS结构中薄栅氧化层在高电场下的退火效应 ,对氧化层陷阱电荷的退陷阱机理进行了深入探讨 .通过实验和模拟对氧化层陷......
期刊
MOS结构
薄栅氧化层
高场退火
退陷阱
PMOSFET's热载流子可靠性及其寿命评估方法研究
该文首先研究了含盖整个线性区和饱和区的各种器件静态参数随应力时间的退化规律,并得到了PMOS器件热载流子损伤生长的基本规律.重......
学位
PMOS器件
热载流子效应
高场退火
栅电流退化模型
电荷总量
寿命评估方法
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