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高声速衬底相关论文
多层膜声表面波器件LiNbO、h-BN薄膜的制备及分析
无线通信、光纤通信系统飞速发展,低频段已经被占满,必须向高频段发展。高频声表面波(SAW)器件使用频率的升高,使它在雷达、电子战、......
学位
金刚石多层膜
声表面波器件
金刚石衬底
铌酸锂薄膜
工艺条件
磁控溅射法
光纤通信系统
衬底温度
溅射功率
氮化硼薄膜
压电材料
无线通信
高声速衬底
工艺参数
高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索
随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高频的频率区移动,例如正在开发的(9000M/1.8GHz)GMS系统。声表面波(SAW)滤波器......
学位
声表面波
脉冲激光淀积
氧化锌
氯化铝
高声速衬底
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