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PC微流控芯片黏接筋与溶剂的协同辅助键合
为了在微流控芯片上形成封闭的微通道等功能单元,克服热压键合中微流控结构的塌陷和热压所致芯片微翘曲对后续键合的影响,提出了一......
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微流控芯片
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黏接筋
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丙酮溶剂
热压
microfluidic chip bonding process bonding tendon pol
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