该文研究在ＳＯＬ－ＧＥＬ工艺中热解和退田温度对ＰＺＴ铁电薄膜结构和性能的影响，利用ＸＰＳ和ＡＵＧＥＲ分析了热处理温度对ＰＺＴ薄膜和Ｐｔ电极之间界面行为的影响。从而建立了......