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硅基盘型谐振腔由于其高品质因数(Q 值)特性，作为谐振式陀螺的核心元件，有望实现谐振式陀螺的小型化、集成化，成为目前谐振式陀螺中研究的基础。谐振式陀螺的极限灵敏度受谐振腔的DQ 乘积的大小直接影响，提出制作大尺寸的盘型谐振腔获得高的DQ 乘积，从而提升谐振式陀螺的极限灵敏度。
硅基盘型腔的光学谐振式陀螺DQ乘积优化
【摘 要】
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硅基盘型谐振腔由于其高品质因数(Q 值)特性，作为谐振式陀螺的核心元件，有望实现谐振式陀螺的小型化、集成化，成为目前谐振式陀螺中研究的基础。谐振式陀螺的极限灵敏度受谐
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
【发表日期】
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2015年期
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