【摘 要】
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利用PbNiNb-PbZrO-PbTiO三元系压电陶瓷设计制作了双悬臂梁结构的微夹持器,用于微装配系统的操作手.对压电陶瓷材料的性能和压电微夹持器的准静态位移进行了实验研究.结果表
【机 构】
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上海交通大学复合材料研究所(上海)上海交通大学信息存储研究中心(上海)上海大学材料科学与工程学院(上海)
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利用PbNi<,1/3>Nb<,2/3>-PbZrO<,3>-PbTiO<,3>三元系压电陶瓷设计制作了双悬臂梁结构的微夹持器,用于微装配系统的操作手.对压电陶瓷材料的性能和压电微夹持器的准静态位移进行了实验研究.结果表明:当应用200V的电压时,夹持器张开距离可达200μm,具备夹持微型器件的能力.
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