【摘 要】
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基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数学模型较为准确地反映了器件的工作状态.并且利用这个模型所计算出的热电堆的主要工作参数与实验结果比较,验证了此模型的正确性.
【机 构】
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传感器国家重点实验室,中科院上海微系统及信息技术研究所(中国上海)
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基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数学模型较为准确地反映了器件的工作状态.并且利用这个模型所计算出的热电堆的主要工作参数与实验结果比较,验证了此模型的正确性.
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