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本文主要讨论了基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪的原理与技术方案。根据讨论结果，说明基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪是一种灵敏度高，稳定性好，成本低，维护简单的现金检漏仪。
基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪的研制
【摘 要】
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本文主要讨论了基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪的原理与技术方案。根据讨论结果，说明基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪是一种灵敏度高，稳定性好，成本低，维护简单
【机 构】
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广州市光机电技术研究院
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
【发表日期】
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2010年期
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