Si,Ni和Cu衬底上沉积非晶金刚石薄膜的摩擦和磨损性能(摘要)

来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangliye5

【摘要】

：

本文报告了用真空磁过滤弧沉积技术(FAD)在Si,Ni和Cu衬底上沉积非晶金刚石薄膜(a-D)及其摩擦和磨损性能的研究结果.

【作者】

：

王效东陈智颖柳襄怀王渭源

【机构】

：

中国科学院上海冶金研究所

【出处】

：

第四届全国微米/纳米技术学术会议

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

：

衬底非晶金刚石薄膜摩擦真空磁过滤弧磨损性能沉积技术报告

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本文报告了用真空磁过滤弧沉积技术(FAD)在Si,Ni和Cu衬底上沉积非晶金刚石薄膜(a-D)及其摩擦和磨损性能的研究结果.

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