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本文通过对流量传感器中Pt薄膜敏感电阻工艺研究，分别介绍了流量传感器中Pt薄膜生长、Pt薄膜敏感电阻图形制作的基本原理、工艺方法及一些具体应用实例。并通过原子力显微镜(AFM)和台阶仪对薄膜进行表征，分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素，制作出了性能较好的Pt薄膜敏感电阻。经实际应用，该Pt薄膜敏感电阻具有良好的稳定性和可靠性，满足流量传感器的使用要求。