【摘 要】
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为了降低蓝宝石衬底加工应力、减小表面粗糙度和缺陷，对蓝宝石基片进行退火处理。对(0001) α-Al2O3基片在空气中高温退火处理，分别研究了不同的退火温度以及不同的退火时
【机 构】
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中国科学院物理研究所,北京100190
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为了降低蓝宝石衬底加工应力、减小表面粗糙度和缺陷，对蓝宝石基片进行退火处理。对(0001) α-Al2O3基片在空气中高温退火处理，分别研究了不同的退火温度以及不同的退火时间Al2O3表面形貌的比较。在退火处理的Al2O3基片上用电子束蒸发镀了一层Al膜，研究了不同退火条件下的Al的表面形貌和结晶情况。最后选择结晶度较好并且表面平整的在Al2O3基片上蒸发的Al材料经过一系列的紫外曝光，电子束曝光，刻蚀等微纳加工工艺制备了超导器件超导共面谐振腔。对超导共面谐振腔的品质因子Q在稀释制冷机中进行了测量，对Q值与退火处理的关系进行了研究。
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