纳米电子膜热加工可拓控制技术

来源 :第二十四届中国控制会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clarkkevin_
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本文首次提出在电子膜制作工艺上采用可拓控制技术,解决了电子元件的标准化和一致性问题.研究表明,可拓控制理论和技术在热平衡问题上具有较大的应用前景,在高温物化反应中不确定性指标的微小突变会产生电子性能指标的较大差异,这一难点可通过可拓控制技术得到解决.
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