【摘 要】
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表面镀层技术在现代微电子、航空航天、化工等领域有着广泛的用途.表面镀层的力学性质及厚度等结构参数的无损评价有着重要意义.镀层的存在使表面Rayleigh波的传播发生了变化
【机 构】
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同济大学声学研究所,上海,200092
【出 处】
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中国声学学会2006年全国声学学术会议
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表面镀层技术在现代微电子、航空航天、化工等领域有着广泛的用途.表面镀层的力学性质及厚度等结构参数的无损评价有着重要意义.镀层的存在使表面Rayleigh波的传播发生了变化.按镀层与基底速度的相对大小,可分为慢层/快基底和快层/慢基底两种情形.二者表面波有着不同的频散特性.平面镀层表面波的传播问题近年来得到了深入研究[1,2].根据表面波频散特性进行镀层材料的表征和参数反演也有相关报道[3].圆柱是实际中广泛使用的一种部件,近年来随着激光超声技术的发展,圆柱表面波的传播等问题也得到了较深入的研究[4,5].而镀层圆柱表面波的传播以及镀层参数的反演问题却是一个尚需研究的问题.本文分析了镀层圆柱表面波的频散性质,对钢柱和镀锌钢柱试样进行了激光超声的激发和检测实验并采用相位谱法分析了表面波的频散性质,得到了与理论一致的结果.
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