【摘 要】
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测量液体密度有很多种方法,包括很多声学的方法[1],其中用兰姆波测量是其中较常用的方法.采用这种方法制作的器件具有体积小、精度高、结构简单、反应速度快等优点.目前,在压
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京,100080
【出 处】
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中国声学学会2006年全国声学学术会议
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测量液体密度有很多种方法,包括很多声学的方法[1],其中用兰姆波测量是其中较常用的方法.采用这种方法制作的器件具有体积小、精度高、结构简单、反应速度快等优点.目前,在压电晶片一侧制作叉指换能器(IDT),而另一侧有液体负载的做法非常普遍.这种做法的最大好处在于,声波能量透射到液体中的比较少,不会像传统的声表面波(SAW)传感器一样出现在液体负载时不能工作的情况.一般情况下,在压电薄板中存在多种模式的兰姆波,这些模式的声学参数各不相同,需要找出一种最合适的来做工作模式.本文对液体负载对压电薄板中兰姆波模式影响进行了分析.
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