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三步共蒸发法制备CIGS 薄膜太阳电池，是当前制备该电池的主流工艺之一。目前世界纪录的小面积CIGS 薄膜太阳电池就是基于此工艺制备的吸收层。但三步法中的衬底温度有高低两个温度段，对于工业化生产有一升温过程，使得生产周期长，沉积设备要有一升温区显得更加庞大并且造价高。
恒低温衬底制备CIGS薄膜吸收层的三步法工艺改进
【摘 要】
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三步共蒸发法制备CIGS 薄膜太阳电池，是当前制备该电池的主流工艺之一。目前世界纪录的小面积CIGS 薄膜太阳电池就是基于此工艺制备的吸收层。但三步法中的衬底温度有高低
【机 构】
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天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,南开大学电子信息与光学工程学院,天津300071
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
【发表日期】
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2014年期
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