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复合高功率脉冲磁控溅射的电-磁场协同增强放电效应
【机 构】
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东北林业大学工程技术学院;哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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