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在半导体前段制造过程中，微粒污染，静电放电损坏和与静电放电相关联的设备停机，是静电带来的三大问题，必须加以控制。静电控制方案包括接地，静电耗散材料的选择和空气电离化。半导体前段洁净室对空气电离有其特殊的要求，因此，洁净室内的空气电离器除了有消除静电的功能外，还要符合洁净室的要求。
半导体前段洁净室中采用空气电离来控制静电的几点考虑
【摘 要】
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在半导体前段制造过程中，微粒污染，静电放电损坏和与静电放电相关联的设备停机，是静电带来的三大问题，必须加以控制。静电控制方案包括接地，静电耗散材料的选择和空气电离化。半导
【机 构】
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亚太区
【出 处】
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第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛
【发表日期】
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2007年8期
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