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为提高电子封装的可靠性,应及时发现内部缺陷,这就要求对电子封装结构进行有效的无损检测,超声显微扫查技术是应用电子封装结构检测的一种主要方法。本文结合超声显微扫查原理,采用高速数据采集卡、高频超声聚焦换能器、脉冲收发仪和高精度的电机运动系统,研制了一套用于电子封装结构检测的超声显微扫查系统。该系统造价低廉、精度和功能可满足实际检测需求,对于电子封装结构的检测具有一定的推广应用价值。