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通过一系列对照试验,排查出了采用台阶仪测试膜层厚度的影响因素及消除措施,提高了膜层厚度测试的准确度。
采用台阶仪测试膜层厚度时影响准确性的方法改进
【摘 要】
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通过一系列对照试验,排查出了采用台阶仪测试膜层厚度的影响因素及消除措施,提高了膜层厚度测试的准确度。
【机 构】
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四川旭虹光电科技有限公司; 平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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“十三五”国家重点研发计划课题(2016YFB0303700)
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